三重扫描方式解决“难以测量"的难题
可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。
纳米级分辨率
即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。
此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量
扫描区域50mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。
只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。
https://www.chem17.com/st525722/erlist_2356012.html
https://www.chem17.com/st525722/product_36942992.html超景深三维显微镜
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