压电移相器由两部分组成,压电陶瓷驱动与手调微动螺钉。为保证对位移的高分辨率要求,压电陶瓷移相器采用压电陶瓷直驱技术结构,确保陶瓷的高分辨率可以直接输出,而不受外部机械结构的影响。手调微动螺钉则采用高精螺丝和衬套,保证了手动调节的精度。
移相干涉技术是一种利用干涉图对光学元件进行测量的技术,其中核心部件为移相器,一般常用微位移运动器件驱动实现。压电式移相器,以其优良的测试精度而被广泛用于各种现代干涉仪器中,并被广泛地应用于各个领域。
压电式移相器是由压电控制器所驱动,它所能移动的位移与压电控制器施加于它的电压信号有关,并与其大小成线性关系。压电式移相器具有体积小巧、高精度、纳米级高分辨率、响应速度快、高刚度、控制简单且不受磁场影响等优点。
压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷驱动,它由直流电压信号来控制,在150V电压下产生的位移约0.7µm,可用于快速步进移相应用。压电陶瓷移相器的驱动电压上限为800V,在此电压下,产生的位移约3.73µm。
该压电移相器是专为移相应用而设计,可通过电压控制进行超快速步进调节,同时,可通过手动调节θx、θy两轴的偏转角度,角度调节范围可达±4°。将镜片调节与移相步进结合,使其更方便于像移、干涉测量等应用。
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