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分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。由于国内磁悬浮轴承技术起步较晚，将磁轴承技术应用到实际工业产品中仍存在一系列难题。 正是意识到这一问题后，公司以此为科技攻关点，经过多年的不懈努力，磁悬浮轴承技术研究取得突破。特别是针对复合分子泵的工作原理，研发出了适合复合分子泵用的磁悬浮高速电机，很后将两者结合起来，成功研发出国内生產的磁悬浮复合分子泵，并探索实现了产业化。

9、对颗粒物或沉积物敏感； 10、噪音与振动； 11、破碎问题； 12、暴露大气易引起事故； 综上所述，涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

爱发科分子泵, 磁悬浮分子泵应用范围***。公司研发总经理介绍，在半导体生产线、真空镀膜生产线、汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。 由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点，一旦实现产业化，将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。

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近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的

高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧

分子泵的另一性能指标是,压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比,压缩比与转速及分子量的关系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比较大。氦质谱检漏仪中,逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对He压缩比,从而提高对氦气的响应灵敏度。

分子泵的叶轮是高速旋转的精密件，在分子泵运转中，不允许固体杂物落到叶轮上,以避免损坏叶轮。也要防止大气突然冲入正在运转中的分子泵。因为这也有可能损坏叶轮，此外,分子泵运转过程中,要远离强磁场。结论改变氦质谱检漏仪的分子泵转速，检测信号值发生变化，仪器在运行时，分子泵转速改变后，只要改变漏率信号的修正系数，无需再次定标，即可保证检测漏率的准确性。

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传统的产品设计和开发过程，常被当作是研制产品的一个步骤，因为产品的设计者不可能对上市时间、质量与可靠性、生产成本、售后及易维护性等全盘掌握，使用传统过程设计的产品在投入生产时不可避免地需要进行反复修改。产品生命周期设计方法通过提议、调查、实验室原型、生产原型、试运行和量产六个步骤来推动和设计过程，

在这些设计过程推进时，采用各种各样的测试和多个部门参与的交互式讨论和分析来决定产品设计方案和方向，而这其中的关键就是各种测试。为了验证各种不同的设计，执行了远超行业标准的大量测试，在量产之前陆续生产了多达1000余台样泵，对各项结构和功能参数进行测试和分析，很终产品定型时，仅选用了结果很佳的结构和方案。

扩展测试

寿命测试在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试（长时间暴露于加速损坏的条件下），对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。

冲击测试对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试，证明泵的抗冲击性。每个泵受到30–120g的加速度，相当于从82厘米/32英寸高跌落（处于非运行状态的泵）和从15厘米/6英寸高跌落（处于运行状态的泵）。

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