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如果要在半导体基材上沉积氮化硅，有两种方法可供使用：

利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。

等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。

氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同，生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时，能通过调节沉积参数来减少张力。

先利用溶胶凝胶法制备出二氧化硅，然后同时利用碳热还原法和氮化对其中包含特细碳粒子的硅胶进行处理后得到氮化硅纳米线。硅胶中的特细碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解产生的。

硅粉中含有许多杂质，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被认为是反应过程中的催化剂。它能促进硅的扩散，但同时，也将造成气孔等缺陷。Fe作为添加剂的主要作用：在反应过程中可作催化剂，促使制品表面生成SiO2氧化膜；形成铁硅熔系，氮溶解在液态FeSi2中，促进β-Si3N4的生成。但铁颗粒过大或含量过高，制品中也会出现气孔等缺陷，降低性能。一般铁的加入量为0～5%。Al，Ca，Ti等杂质，易与硅形成低共熔物。适当的添加量，可以促进烧结，提高制品的性能。

氮化硅涂料能有效解决钢坯热处理过程中氧化烧损问题。纳米硅酸盐化涂料防氧化效果明显，能使原来普通热轧板所产生的3％-5％的氧化皮降到0.1％-0.8％，使不锈钢热轧板所产生的1％-3％的氧化皮降到0.2％以下。

氮化硅炮泥。含有氮化硅的炮泥，将起到有效的烧结的作用、耐腐蚀性的作用及抗分裂性的作用，应用于炉体或电炉中能够将高炉炉口更加稳定的封好，并且非常容易破割。

氮化硅在HRB400高强度热轧钢筋有很好的应用。Si3N4作为增氮剂，配合FeV用于生产V微合金化Ⅲ级钢筋，钢筋性能优良稳定，是生产HRB400 Ⅲ级钢筋的一种新合金化工艺。

氮化硅在单位质量氮含量中仅次于氮化硼，价格较低，从而在增氮方面有非常高的。