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真空检漏技术

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。

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真空箱氦检漏

真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能、迅速准确的判断工件的泄露情况。

基本技术参数编辑真空箱数量： 根据实际需要真空箱容积： 根据实际需要示漏氦气压力：根据实际需要耐压试验压力：根据实际需要检漏生产节拍：根据实际需要氦气回收率： ≧98%‘’

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真空箱式氦检漏设备【验收标准】

由于真空箱式氦检漏系统是比较好的设备，所以需要用户进行验收，以免后期使用过程中产生问题，难以解决。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收，之后进行操作、维修等技术培训，验收合格后双方签字生效。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收，以免延期因保管出现的产品质量问题。需要注意系统调试需要用测试工件。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测。

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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。

2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。真空箱式氦检漏设备适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。