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纳米定位台原理

纳米定位台其实主要由两大部件组成，部分是一个电容传感器（原因：电容传感器分辨率很高），第二部分就是一个柔性导轨（主要作用是使运动平滑）。

应用应该主要是用在 显微镜 磁头 探针这些超高精密应用上。纳米位移台是一种机械装置，内部有一个或多个压电陶瓷，由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。制造的纳米位移台使用柔性铰链技术将运动装置链接到固定基座上。纳米位移台内置高精密传感器，闭环控制时，传感器技术在保证线性度的前提下，可以实现纳米级别，亚纳米级别的分辨率。

纳米定位台

微纳系统技术是下一代新产品和新技术的基础，其中一个重要的领域是微纳系统装配，其主要面向微米装配、纳米测试和生物研究等应用目前微纳系统的装配迫切需要具有高柔性、能够进行高精度纳米操作的系统装备定位与驱动设备是纳米操作系统中关键组成之一，目前具有纳米级甚至亚纳米级运动精度，又具有毫米级运动行程的跨尺度定位技术已成为纳米操作领域驱待解决的关键技术的尺为微级，因此微纳系统的装配必须辅助于高分辨率成像设备。

纳米定位台概述

纳米定位台采用黏滑原理驱动，即利用物体接触表面间的动静摩擦力实现步进位移。基于黏滑原理的单自由度纳米定位台主要由基座、致动器、导轨和摩擦块 部分组成。致动器随时间缓慢伸长，导轨与摩擦块间的相对运动速度较小，表面间摩擦力为静摩擦力，摩擦块在静摩擦力的作用下与导轨保持相对静止，共同向右移动;致动器快速收缩，导轨与摩擦块间的相对运动速度较大，表面间摩擦力为动摩擦力，导轨在致动器的作用下快速回到原位置，而摩擦块由于惯性的作用几乎没有移动。重复以上过程，则摩擦块可以连续地向右移动，而致动器和导轨保持的原位置不变。

压电促动器

1.直驱压电促动器　　直驱压电促动器是具有机械结构的压电执行器，它的结构采用直接驱动的方式，以约1/1的比例将压电元件本身的位移、出力等进行输出。不仅不会改变压电元件的优势特点，还会显著提高压电元件的动态性，并为其增加了一层强有力的保护。另外它也增加了机械接口，使安装更便捷，可选择平头、球头、内螺纹、外螺纹等多种形式，可定制，适用于多种应用，如减振抑振、谐振器、移相器等。